U360642 灵茶八题 - 子序列 ^w+

给你一个长为 $n$ 的数组 $a$，输出它的所有非空子序列的异或和的和。 例如 $a=[1,2,3]$ 有七个非空子序列 $[1],[2],[3],[1,2],[1,3],[2,3],[1,2,3]$，异或和分别为 $1,2,3,3,2,1,0$，所以答案为 $1+2+3+3+2+1+0=12$。 由于答案很大，你需要输出答案模 $10^9+7$ 后的结果。

第一行输入一个整数 $n\ (1\le n \le 2\cdot 10^5)$。 第二行输入 $n$ 个整数，表示数组 $a$ 中的元素 $(0\le a[i] \le 10^9)$。

一个整数，表示 $a$ 的所有非空子序列的异或和的和，模 $10^9+7$ 后的结果。

其余题目见[《灵茶八题》题目列表](https://www.luogu.com.cn/blog/endlesscheng/post-ling-cha-ba-ti-ti-mu-lie-biao)